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今注目の素材として【窒化ケイ素】基板のダイシング加工についてご紹介致します。窒化ケイ素基板の特徴は放熱性、耐熱性、機械的強度、絶縁耐圧に優れた材料です。このような特徴から、パワーモジュール用セラミックス基板として窒化ケイ素に対する注目が集まっています。

窒化ケイ素は主に電気自動車や電気鉄道のモーター駆動制御、太陽光発電など再生可能エネルギーに関する分野など幅広い業界で使用され、高い強度と破壊靭性を併せ持つことから、基板の小型化が期待されています。

窒化ケイ素は高い強度を持つ一方で脆い材料であることから加工が難しい材料となります。窒化ケイ素のような難素材であっても当社加工技術により高精度、高品質で加工することが可能となります。

1月に開催されました展示会でも展示し、お客様からのお問い合わせが多く今回加工事例としてご紹介させていただきます。