マシニング加工の事例紹介-特設サイト

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匠な技術(わざ)でもっと

東京電子工業の高度なマシニング加工技術

素材・加工の壁は超えられる!
難素材の限界を、設備・技術・知見で突破

  • もっと、薄く。
    薄壁 0.05mm

    もっと、薄く。

    「割れる」常識を捨て、
    極限の軽量化と放熱性を。

  • もっと、深く。
    アスペクト比 1:25

    もっと、深く。

    「届かない」を解消し、
    微細な縦空間の活用を。

  • もっと、自由に。
    隅R 0.05mm/異形状

    もっと、自由に。

    「削れない」形状を克服し、
    設計の自由度を最大に。

「削れない」と、
理想をあきらめていませんか?

東京電子工業は、石英ガラスやアルミナ、SiCといった難削材加工において、お客様の「もっと」に応え続けてきました。マシニングセンタという最先端の設備を、蓄積してきた膨大な加工データ(知見)と、一品ごとに最適解を導き出す治具製作(技術)で、図面上の理想を具現化してまいります。

国内2拠点・24時間稼働で、スピーディーに量産!

代表的な加工素材

素材の特性を損なわず加工するには、その性質を熟知しておくことが必要です。
実績ある当社だからこそ、多彩な素材の加工が可能です。

石英ガラス

透明度が高く、耐熱性が高いという特性により、光ファイバーや半導体製造装置に多用されています。

サファイアガラス

無色透明の結晶体で、非常に硬く、熱に強く、薬品にも溶けない特性を持っていることが特徴。

アルミナ

産業分野で最もよく使われているファインセラミックスのひとつです。あらゆる精密部品の加工に向いています。

窒化アルミ

ファインセラミックスの中でも、最も熱伝導率が高く、ICの放熱板やLED、レーザー素子の製作などに利用。

[ガラス・セラミックスなど加工できる素材例]

  • ・ソーダガラス 白板ガラス ホウケイ酸ガラス 水晶ガラス など
  • ・ジルコニア 炭化ケイ素 窒化ケイ素 シリコン など

その他ガラスやセラミックスの素材についても対応可能ですので、お問い合わせください。

素材を活かす知見があります!

マシニング加工事例

マシニングセンタを駆使し高精度な加工を実現するためには、
装置への理解と経験、プログラミング知識、また独自治具による工夫、他の加工方法との組み合わせなど、
高度な技術とノウハウが必要です。

石英ガラスの深穴加工

石英ガラスへアスペクト比1:25の深穴を加工しました。
穴径φ2mm×深さ50mm

ソーダガラスの溝加工

ソーダガラスに溝幅5.3mm深さ2mmの溝加工円周状に加工しました。
溝壁0.3mmの微細加工となります。

石英ガラスの穴加工

石英ガラス30mm×40mm×厚さ7mmに穴径Φ2mm×深さ2mmへの微細穴加工となります。
穴間0.5mmでの加工が可能です。

アルミナ基板の
段ザグリ加工

アルミナ基板のザグリ加工となります。ザグリ面の平面度は0.01mm以下で対応可能です。
ザグリ深さ:0.2mm/0.4mm/0.8mmの三段のザグリ加工となります。

窒化アルミ基板の
溝入れ加工

窒化アルミ基板に溝幅5mm×深さ0.6mmの溝入れ加工となります。
隅Rは0.05mm以下での加工となり、直角形状の溝加工に対応します。

SiC基板の穴加工

非常に硬く加工の難しい材料のSiC基板φ20×t0.4mmに1-φ1.2mm/8-φ2mmの微細穴加工となります。
φ1.2mmというサイズにも対応し、カケなく加工いたします。
穴公差±0.05mm
チッピング:0.4mm

アルミナ基板の薄壁加工

厚み2.4mmのアルミナ基板(7.1mm×9.4mm)に格子形状の微細加工となります。
格子-格子間の壁厚み0.05mmの薄さまで高精度に加工が可能です。

シリコン素材の異形状加工

4インチシリコンウエハーに当社のロゴと社名のザグリ加工となります。文字通り「高精度・高品質」に加工いたします。
深さ:0.15mm
最小の溝幅:0.5mm
チッピング:0.2mm
位置精度:±0.1mm

サファイアガラス
溝加工+穴加工

サファイアガラスに溝入れ+穴加工の微細加工事例となります。
当社のダイシングマシンとマシニングセンタを併用して仕上げました。
溝幅:0.3mm/1.0mm/2.0mm
穴サイズ:Φ0.3mm/φ2mm/φ4mm
楕円:L14.0mm/S4.0mm
深さ:0.5mm
チッピング:0.15mm

技術総動員で高度な加工にチャレンジ!
NDA締結により開発品の実績も多数!

実績分野と加工品目例

マシニングセンタにより、高い精度や複雑な形状が求められる部品の加工を可能にします。
自動車、電子部品、航空宇宙、医療機器など、幅広い分野で活用されています。

[実績分野]

半導体

通信機器

データセンター

医療機器

車載機器

航空宇宙

[加工品目例]

  • 半導体製造装置関連機器部品
  • 光通信機器関連部品
  • 医療機器関連部品
  • 航空・宇宙関連部品
  • 減速機軸
  • XYステージ装置部品
  • 油圧機器部品
  • 液晶機器関連部品
  • 産業機械部品
  • 精密機械加工全般
  • その他特殊加工
NDA締結により開発品の実績も多数!

主な設備紹介

最新のマシニングセンタはもちろん、他の加工方法との組み合わせを可能にする、各種設備を有しています。

マシニングセンタ

スライシングマシン

スライシング
マシン

内周スライシング
マシン

ワイヤー
ソーマシン

ロータリー研磨機

平面ラップ盤

面取り加工機

超純水装置

洗浄機・洗浄装置

お客様対応フロー

経験豊富な技術営業が、ご発注から製品の仕様決定、加工作業、検査、納品まで責任を持って担当させていただきます。
超精密加工や超微細加工が初めてのお客様にも、わかりやすく丁寧に説明を重ねながら、対応させていただきます。

まずはお問い合わせください!

1966年の創業以来、
約60年・100000件以上の加工実績
難素材超精密
国内自社工場(24時間体制)で加工
まずは、お気軽にご相談ください!
技術者が丁寧にご対応いたします